アクチュエータの部材をすべて導電化し、静電気の帯電を防止したタイプです。
クリーン度クラス10対応。
本ページの仕様はシリーズ全体のスペックから最大値を記載したものです。 要求仕様の組合せによっては最大値の表示を満たさない場合があります。
タイプ一覧
最大ストローク
最大水平可搬質量
最大垂直可搬質量
最大速度
繰り返し位置決め精度
ISDACR-ESD
1600 mm
80 kg
19 kg
1000 mm/s
±0.02mm
ISPDACR-ESD
±0.01mm
※ 詳細情報はカタログ(PDFファイル)をご覧下さい。
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